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平行光曝光灯

PC-4500CIL曝光灯、日本USHIO平行光曝光灯。短弧***氙灯，又名平行光曝光灯.功率主要有5000w，3000w，8000w等，用途较广泛的是5000w平行曝光灯.球形高压短弧***氙灯

英文名称是mercury xenon short arc lamps

该灯光谱范围主要在325nm~450nm之间，是在高压***蒸气中产生电弧发光的短弧灯，此类灯管具有高 辐射 、多线光谱 、在紫外光区有较高的辐射能量 、寿命长、高光学质量等优点，适用于全自动曝光系

统和半导体生产光刻。

主要规格型号：日本ushio系列型号有:pc-5001cbt，pc-5001csn，pc-5001cbtl，pc-5001csnl，pc-5002rc，pc-5002ad，pc- 5001ta;pc-5000mf，pc-5000sg、pc-3500sg；、同时还有点光源平行光曝光灯：型号有：ｓｕｖ-1003ｆａ；ｕｖｌ-3500ｓｉ；ｕｓｈ-5000ｍｇ，uxm-5000ta、ush-3502ma，ush-2004mb、hsa－2002－30341

美国orc型号有:hvf-5001cbt/r，hvf-5001csn/r，平行光曝光灯，hvf-5000mfn/r，hvf-5002ad/r。

平行光曝光灯

短弧氙灯又叫平行光曝光灯，功率有1kw到12kw不等。 灯管内主要成份为氙气，能产生紫外线，主要峰值在365nm，具有较距短 弧光短的特点。灯管发光点位于阴极尖端附近，所产的较亮光斑，福永平行光曝光灯，经光学系统转换后形成纯紫外线平行光线，能显蓍提高曝光质量。 经众多客户成功使用验证，匹配性高，性能稳定，有效使用时间1200小时。 所配设备： arc ，大日本科研(dnk) ，orc ，西乡平行光曝光灯，cbt(川宝)， adtec (大船)，惠州平行光曝光灯， c-cun(志圣)，tamarack ， hakuto. 功率：5000w 匹配设备：大日本科研dnk 功率：5000w 匹配设备：日本orc 功率：5000w 匹配设备：usa orc。